至此！

他掌握了整個實驗室所有儀器及試劑的使用...

“時間緊急，馬上開始！”

要想讓‘極紫外光’應用于光刻機，不僅僅是產生光源這么簡單。

事實上，極紫外光的產生，從來不是難點。

真正的難點在于如何保證極紫外光產生后，通過一整套復雜裝置，作用于芯片上。

要知道，euv光刻機采用的是波長為13.5nm的極紫外光，其光子能量達到92ev，是duv深紫外光（193nm）的14倍。

所有材料在13.5nm波長下都會出現強吸收效應，這就使得傳統透射式光學系統完全失效。

因此，euv系統就必須完全采用全反射式的光路設計，甚至其反射鏡面形精度要達到原子級要求

此外，極紫外光刻技術還涉及多層膜反射鏡技術、激光激發等離子體方案、超高真空環境運行、熱管理、新型光刻膠體系以及計量與檢測技術的納米級突破等核心技術。

整套裝置涉及378項尖端專利！

且不說這些專利都是秘密，就算公開，龍國想要使用，也得支付驚人的專利使用費，比單純買光刻機貴好幾百倍。

沒有人甚至沒有哪個國家，能單獨繞過這些專利，獨立生產出精密光刻機的極紫外光發射部分。

韋神也只敢研究其中很小的一部分。

饒是這樣，也足以讓他被困在這領域近十年，焦慮到經常酗酒。

對于林元來說，他雖已經有了完整的設計，但需要得到的數據太多太繁雜。

五天根本不夠！

于是乎――

他只能選擇先從尖端技術開始，剩下技術含量稍弱、用不到尖端儀器的部分慢慢搞。

“林元，你干什么？這臺儀器造價八千萬呢！”見林元走到一臺精密儀器前，柳瑤瑤趕忙跑過來。

“沒問題，我會很小心的。”林元給了她一個寬慰的眼神，而后啟動電源鍵。

嘀嘀嘀――

儀器屏幕閃爍不停，緊接著出現一把電子鎖圖案，并要求輸入密碼。

林元嘗試著輸入000000888888等傻瓜密碼，皆顯示錯誤，臉龐當即黑了起來。

好家伙，這是在防賊呢！

“好了...好了，我們來做簡單的置換反應實驗吧。”柳瑤瑤心中一松，笑著拉著林元的胳膊。

尖端儀器上了鎖，她再也不擔心林元損壞賠償了。

林元站在儀器前，不愿離開。

只見他眉頭緊皺，思索了幾秒，一手摁住電源鍵，一手觸摸儀器屏幕。

咔、咔――

在又一次打開電源鍵的同時，手指在屏幕上昏點，幾秒鐘內，點了上百下！

然后...然后一拳揮出，屏幕應聲而碎，玻璃渣子橫飛。

柳瑤瑤與顧佳雙目瞪圓，驚訝得合不攏嘴。

林元則微微一笑：“果不其然，真能硬解，這方法恐怕連儀器研發工程師都不清楚。”

啪啪啪――

硬解掉電子鎖后，林元雙手五指狂舞，在儀器按鍵上瘋狂點擊。

半個小時后，一大摞宛若外星文字的數據圖表，被一旁的高速打印機打印出來。

林元滿意一笑，走到另一臺儀器前，又一次暴力解鎖。

顧佳與柳瑤瑤噤若寒蟬，瑟瑟發抖。

“完了，完蛋了！”

未完待續――――――――――――――_c