958分享經驗

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線上交談會仍在繼續。

這次輪到了清大副校長，科學院院士黎朔教授。

“終于到我了，我只問江南同學一個有關光源的小問題。”

黎朔教授緩緩開口，問了一個與他本專業有關的問題。

“眾所周知，極紫外光刻需要功率極高、穩定性極佳的13.5納米波長的等離子體光源。現在國際主流是采用高功率二氧化碳激光轟擊錫滴靶材產生等離子體，但其中涉及到了復雜的激光靶材相互作用、等離子體調控和碎片管理難題，轉化效率和穩定性是公認的世界級瓶頸。”

涉及專業問題，黎朔教授語氣嚴肅。

“既然光刻機從頭到尾是西北研究所獨立研發，那大家是如何解決這個關鍵問題的？以及我很好奇，在提升光源功率和延長光鏡壽命方面，你個人認為團隊最大的創新點是什么？”

雖然觀眾并不明白這些專業名詞指代得到底是什么問題。但從黎朔教授嚴肅的語氣就能感受到這個問題的分量和嚴重性。

而江南，這次他回答得更快更從容。

“傳統錫滴靶材路線面臨效率、穩定性和污染三大挑戰。我們最初也嘗試過深入優化這一路徑，但發現受限于基礎物理機制和材料特性，短時間內難以取得突破性進展，而且很容易陷入專利糾紛。”

“因此，就像之前在直播中所說，我們選擇了一條更具挑戰性，但也更徹底的路徑。那就是雙脈沖協同激發磁約束等離子體光源。”

“簡單來說就是放棄了單一的錫滴靶材，轉而采用特殊合金薄膜作為靶材。首先用一束超短超強激光脈沖轟擊靶材，將其氣化成特定狀態的前體等離子體團。緊接著在最佳時機，第二束主激光脈沖精確作用于這個前體等離子體團，進行二次激發和約束。”

“至于收集鏡壽命，除了在收集鏡表面使用我們自主研發的、耐等離子體轟擊和自修復能力更強的多層膜材料外，更重要的是我們通過精密反饋系統實時監測等離子體狀態，能夠確保產生的等離子體‘更干凈’，從源頭上減少對收集鏡的損傷。目前，我們光源的功率穩定在350瓦以上，收集鏡的維護周期遠超傳統路線。”

一串串精準的參數，一個個聞所未聞卻又邏輯嚴謹的技術名詞從江南口中源源不斷吐出。他好像根本不需要思考，又或者這些東西就像血液一樣早就根植于江南的身體中。

旁邊的直播彈幕中全是“大神我聽不懂”、“太專業了有沒有大佬翻譯”、“媽媽這不是我該來的地方”等等感嘆哀嚎。

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而華國之前發過得兩位教授，以及現場的諸多實驗室同仁，有的明顯心潮澎湃呼吸粗重，有的則陷入沉思甚至現場就開始拿筆記記錄，顯然受到了極大啟發——