“蘇教授提到的確實是光刻機的關鍵難點。傳統極紫外光源采用二氧化碳激光轟擊錫滴產生等離子體的方式,這個過程存在能量轉換效率低、錫滴污染鏡面、功率穩定性差三大問題。”
955交流會開始
江南略一停頓,細細組織語,隨后聲音似水般在眾人耳中流淌。
“我們的解決方案是雙路徑創新。首先是幾番測驗后開發了一種新型的錫靶材料,通過摻雜特定的稀土元素,改變了錫滴的表面張力和蒸發特性。其次,我們重新設計了激光轟擊的時序和角度,采用非對稱多脈沖轟擊模式。”
江南越說越快,越說越流暢,就好像這些復雜晦澀至極的專業名詞,在他腦海中早就過過不止一遍。
“具體來說,我們將單個高能脈沖分解為一組精確控制的微脈沖序列。第一個微脈沖使錫滴預電離,第二個微脈沖在特定相位注入,使等離子體形成特定的磁流體結構……這樣可以減少碎屑產生,提高能量耦合效率。”
“目前我們的原型機可以實現穩定功率380瓦,連續工作穩定性達到94.7%,碎屑污染降低到傳統方法的十八分之一。相關材料配方和時序控制算法,我們已經申請了專利保護。”
話音落下,彈幕瞬間飆升:
“不明覺厲,雖然聽不懂但大受震撼!江南口條這么好嗎?一口氣說這么多居然連個磕巴都不打。”
“不可能是在讀稿子吧?難道這些問題是提前設置好的?”
“前面的,清大已經第一時間辟謠了,這些問題真的全都是隨機的。誰敢信,連清大參加交流會都是隨機的,之前他們根本就不知道江南研究出了光刻機。”
“媽呀,一個敢隨機問一個敢隨機答。這是多牛逼的應對能力。不對,這是江南對自己的業務有絕對自信吧!”
“94.7%的穩定性?!這數據是真實的嗎?太可怕了!”
“專利保護!做得好!核心技術必須保護起來”
“那些想白嫖技術的外國機構現在傻眼了吧?嘿嘿,專利早安排上了,抄都抄不著。”
“江南教授的聲音好好聽,俺又愛上了。”
“不知道你們有沒有注意到,所有具體數字和操作細節都沒說哈哈哈哈哈哈,那幫旁聽的估計要抓心撓肝了,江南好雞賊啊。”
“怎么說話呢,人家這叫聰明!所有的操作細節問啥答啥還不夠意思嗎?想知道具體數字?讓他們自己去試啊!”
“江南真的一句廢話都不說哎,這才叫干貨交流會!”
“……”
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