“如果真能達到7納米,那已經可以滿足大部分高端芯片需求了。如果真的投產,絕對能在半導體行業引發全球大地震。”
“等一等,他剛才提到的折射率補償算法,我在一篇未公開的論文里見過類似思路!”
顧北舟眼神略過這些評論,心中更加安定。
這些資料中有許多是勞倫斯給他的全球頂尖研究所未公布的實驗數據,果然足夠先進。至少此刻讓這些業內人士認可絕對不成問題。
“那現在,讓我們看看‘光刻機’的內部結構。”
顧北舟按下控制臺的一個按鈕,光刻機的前面板緩緩打開,露出內部精密的機械結構。
肖芙將鏡頭拉近,對準了那一排排神秘莫測的激光發射器。
顧北舟詳細講解每一個組件的功能,從光源系統到投影透鏡,從掩模臺到硅片臺,他的解說十分流暢又不乏專業度,偶爾插入一些自己獨自研究的小故事和小發現,保證既能讓業內人士明白這臺光刻機的“權威性”,又讓圍觀群眾知道他付出得心血到底有多少。
“最困難的部分是反射鏡系統。”
顧北舟沉聲說道,“因為euv光會被幾乎所有材料吸收,所以在實驗一開始我們就知道不能使用現在最普遍的透射式光學系統,而必須采用反射式。這就要求反射鏡的表面粗糙度必須控制在0.3納米以下——這個精細程度,就是全球所有先進科研實驗室遲遲無法攻克的難點。”
說完,他調出一組顯微鏡圖像,面相鏡頭介紹。
“這是我們自主研發的硅層反射鏡,經過半年試驗,終于將反射率提高到60%以上。雖然聽起來不高,但在這個領域來說已經是突破性的進展。”
彈幕幾乎被贊嘆聲淹沒:
“60%?現在kcd最新公布的也才這個水平!這可是能拿科研大獎的水準啊,居然被顧北舟一個人做到了!”
“如果他沒造假,這確實是重大突破。”
“何止重大突破,簡直天降紫薇星的程度啊。”
“我開始相信了……這些細節不可能憑空編造。”
“這些機械結構的精度很棒不可能普通加工廠能做出來的,所以顧北舟沒騙我們,他很有可能已經秘密研究很多年了。”
“他和他的父親,到底是付出了多少心血和努力,才能以一己之力,把光刻機這么難啃的骨頭做到目前全球最先進水平的啊,這就是科研人艱苦篤行的心性嗎?”
“我都不知道該說什么好了。顧北舟,對不起我之前不應該隨便罵你。”
“對不起1……”
“……”
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